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特點(diǎn)：適用于壓力范圍為0.01至50mbar/0.0075至37.5Torr，需要抽速較大的應(yīng)用場(chǎng)合
           運(yùn)行壓力相對(duì)較低，可靠性極高
           ZRS系列屬于高品質(zhì)、無油泵結(jié)構(gòu)
           有效的軸封確保油不會(huì)進(jìn)入泵腔，而且由于沒有內(nèi)部和外部旁通管路和閥這些可能會(huì)被腐蝕的部件，因此將維護(hù)需求降至*低
            對(duì)軸封的設(shè)計(jì)進(jìn)行了優(yōu)化，以確保潤滑劑不會(huì)遷移到泵腔，使泵在清潔度
  要求極高的環(huán)境下發(fā)揮增壓泵的性能。此外，還可以防止在公差非常嚴(yán)格的轉(zhuǎn)子凸角和端面上聚集微塵顆粒
            動(dòng)平衡的轉(zhuǎn)子及精密研磨齒輪使泵的運(yùn)行平穩(wěn)、靜音，以滿足先進(jìn)技術(shù)設(shè)備制造商的要求

應(yīng)用：真空包裝、干燥及脫氣、真空冶金、真空蒸餾、薄膜涂層、低密度風(fēng)洞、空間模擬、真空浸漬、冷凍干燥