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【簡單介紹】          

滑軌管式爐一體化結構設計,用于1100℃以下快速升溫快速降溫的特殊工藝要求，通過移動爐體實現快速冷卻的目的。同時也可以預先設定溫度，然后移動到樣品處，達到快速升溫的效果。高純石英管作為爐膛，無污染，抗急冷急熱性能好。設備外形精巧美觀，周邊拓展性好，適合使用廣泛的RTP工藝及CVD石墨烯工藝。

【詳細說明】

FGL（RTP）系列滑軌式管式爐(T max 1100℃)

滑軌管式爐一體化結構設計,用于1100℃以下快速升溫快速降溫的特殊工藝要求，通過移動爐體實現快速冷卻的目的。同時也可以預先設定溫度，然后移動到樣品處，達到快速升溫的效果。高純石英管作為爐膛，無污染，抗急冷急熱性能好。設備外形精巧美觀，周邊拓展性好，適合使用廣泛的RTP工藝及CVD石墨烯工藝。

特點

1. 工作溫度RT～1000℃。

2. 爐管管徑25mm～90mm可選。

3. 溫區個數1個

4. 程序控溫儀，智能邏輯PID算法，控制精準。可編輯、儲存并調用多段程序，無需重新設置，操作簡單。

5. 采用陶瓷纖維FEC加熱模塊，電阻絲內嵌式環繞加熱。

6. 爐殼結構，雙層爐殼風冷結構。

7. 爐口密封：不銹鋼雙層密封法蘭，進、出氣美標針閥。

8. 爐管保護：兩端可調節式法蘭支撐結構，延長石英管的使用壽命。

9. 超溫保護功能，當溫度超過允許設定值自動斷電。

10. 安全保護當爐體漏電時自動斷電。。

11. LED高強度抗破壞全不銹鋼按鈕，經久耐用。

12. 額外選配：爐內測量系統（氧含量檢測系統、溫度檢測系統）；

真空系統（旋片式機械泵、擴散泵機組、分子泵機組）；

氣氛系統（浮子流量計、質量流量計）；

監控系統：（溫度記錄儀、觸摸屏遠程監控）；

              注：選件需配置拓展柜體；

技術參數：