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快速熱處理退火爐簡稱 RTP（Rapid Thermal Processing Furnace），由我公司借鑒了國際先進(jìn)制造工藝，在管式爐的基礎(chǔ)上自主研發(fā)而成。這款不但擁有很快的升溫速率100℃/S，而且降溫速率也有了質(zhì)的飛躍，降溫速率100℃/S。我們的工程師們巧妙的設(shè)計工藝使得冷卻氣體直接對著樣品直吹，以至于達(dá)到如此快的降溫速度。真正的極速升溫和極速降溫！

此款設(shè)備采用了成儀自主研發(fā)的智能AIO（All In One）控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了爐膛自動左右移動，爐膛在左側(cè)加熱到設(shè)定溫度后，直接移動到右側(cè)樣品區(qū)域，實(shí)現(xiàn)樣品快速升溫，樣品加熱到設(shè)定溫度和時間后，爐膛自動移開樣品加熱區(qū)，實(shí)現(xiàn)樣品的快速降溫。成儀AIO智能控制系統(tǒng)不但實(shí)現(xiàn)了真空系統(tǒng)開啟、保護(hù)氣氛通斷以及冷卻氣體通斷的自動協(xié)調(diào)控制，而且還能自動平衡爐管內(nèi)的壓力大小，真正實(shí)現(xiàn)了操作方便，而且安全可靠。

功能舉例：樣品加熱到1000℃后，爐膛自動移開加熱區(qū)，冷卻氣體自動打開直吹樣品表面實(shí)現(xiàn)極速降溫，樣品溫度降到70℃時自動關(guān)閉冷卻氣體。然后爐膛移動到加熱區(qū)繼續(xù)加熱，如此往復(fù)，往復(fù)次數(shù)可用戶自定義。真空系統(tǒng)可根據(jù)用戶設(shè)定溫度自動開啟和關(guān)閉。

應(yīng)用領(lǐng)域

? 快速熱退火 (RTA); 離子注入后退火

? 石墨烯等氣象沉積，碳納米管等外延生長

? 快速熱氧化 (,RTO); 熱氮化 (RTN);

? 硅化 (Silicidation);

? 擴(kuò)散 (Diffusion);

? 離子注入后退火 (Implant Annealing);

? 電極合金化 (Contact Alloying);

? 晶向化和堅(jiān)化 (Crystallization and Densification);

    
主要特點(diǎn)

? 極速升溫100℃/S，極速降溫100℃/S；

? 雙層爐管結(jié)構(gòu)，氣氛與樣品接觸更均勻；

? 直接測量樣品表面溫度，測溫更精準(zhǔn)；

? 爐膛根據(jù)設(shè)置可自動左右移動，可以滿足更多的實(shí)驗(yàn)應(yīng)用；

? 樣品實(shí)際溫度數(shù)據(jù)可通過手機(jī)APP導(dǎo)出excel表格；

技術(shù)參數(shù)：