參考價(jià)格
100-150萬(wàn)元型號(hào)
VCVD品牌
頂立科技產(chǎn)地
湖南樣本
暫無(wú)非金屬電熱元件：
其他金屬電熱元件：
其他燒結(jié)氣氛：
真空溫控精度：
±5最高溫度：
1500額定溫度：
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立式化學(xué)氣相沉積爐（SiC、BN）
產(chǎn)品描述：
立式化學(xué)氣相沉積爐（SiC、BN）可用于材料的表面涂層、基體改性、復(fù)合材料制備等
應(yīng)用范圍：
外延片基座、晶體爐高溫耐材、熱彎模具、半導(dǎo)體坩堝、陶瓷基復(fù)合材料等
采用先進(jìn)的控制技術(shù)，能精密控制MTS的流量和壓力，爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動(dòng)范圍小；
全密閉沉積室，密封效果好，抗污染能力強(qiáng)；
多通道工藝氣路，流場(chǎng)均勻，無(wú)沉積死角，沉積效果好；
多級(jí)高效尾氣處理系統(tǒng)，能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點(diǎn)粘性產(chǎn)物，環(huán)境友好；
可選配新設(shè)計(jì)的防腐蝕真空機(jī)組，持續(xù)工作時(shí)間長(zhǎng)，維修率極低；
使用工藝氣氛：真空/CH4/H2/N2/Ar/BCI3/NH3/MTS。
| 參數(shù)\型號(hào) | VCVD-0305-SIC | VCVD-0608-SIC | VCVD-0812-SIC | VCVD-1120-SIC | VCVD-1520-SIC |
| 工作區(qū)尺寸D×H（mm） | 300×500 | 600×800 | 800×1200 | 1100×2000 | 1500×2000 |
| **溫度（℃） | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 | 1500 |
| 溫度均勻性（℃） | ±5 | ±7.5 | ±7.5 | ±10 | ±10 |
| 極限真空度（Pa） | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 | 1-100 |
| 壓升率（Pa/h） | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 | 0.67 |
| 加熱方式 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 | 電阻 |
以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整，不作為驗(yàn)收依據(jù)，具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。
結(jié)構(gòu)形式：臥式-單開(kāi)門/雙開(kāi)門；立式-上出料/下出料
爐門鎖緊方式：手動(dòng)/自動(dòng)
爐殼材質(zhì)：內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼
保溫材質(zhì)：碳?xì)?石墨氈/碳纖維固化氈/陶瓷纖維氈
加熱器、馬弗材質(zhì)：石墨/CFC/金屬
熱電偶：K/N/C/S分度號(hào)
真空泵：機(jī)械泵組/耐腐蝕泵組
暫無(wú)數(shù)據(jù)！
3月16日，第十六屆中國(guó)產(chǎn)學(xué)研合作創(chuàng)新大會(huì)在北京舉行，來(lái)自國(guó)家部委、中國(guó)科協(xié)、中國(guó)科學(xué)院、中國(guó)工程院、高等院校等相關(guān)部門的領(lǐng)導(dǎo)、兩院院士以及全國(guó)政產(chǎn)學(xué)研一線的千余名代表參會(huì)，會(huì)上表彰了2024年在科技
3月13日，長(zhǎng)沙縣總工會(huì)第十七屆委員會(huì)第四次全體會(huì)議順利召開(kāi)。會(huì)上，頂立科技副總經(jīng)理、工會(huì)主席胡祥龍作為基層工會(huì)代表發(fā)言，分享了公司工會(huì)在創(chuàng)新民主管理，賦能企業(yè)發(fā)展方面的顯著實(shí)踐與成效。近年來(lái)，在縣總
2025年2月，中國(guó)工程院院士、北京科技大學(xué)學(xué)術(shù)委員會(huì)主任、北京材料基因工程高精尖創(chuàng)新中心主任謝建新教授一行蒞臨頂立科技考察調(diào)研。頂立科技董事長(zhǎng)戴煜、聯(lián)合創(chuàng)始人譚興龍及技術(shù)中心團(tuán)隊(duì)熱情接待。謝建新院士
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