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晶體生長爐
型號:
VBF-1200X-TSSG
產品概述:
VBF-1200X-TSSG是一款頂部籽晶法晶體生長爐,可利用助溶劑法生長各種材料單晶。配備精密旋轉提拉機構可用于頂部籽晶助溶劑法生長各種晶體材料,提拉和旋轉速度采用PLC觸摸屏控制,操作簡便。箱式爐采用氧化鋁纖維作為爐膛材料,以電阻絲為加熱元件,其腔體尺寸為φ240mm×200mm(H),**溫度可達1200℃。采用歐陸儀表進行控溫,可根據不同的客戶需求來設定升降溫程序(**24段),控溫精度可達±0.1℃。
產品特點 | ? 由1200℃井式箱式爐與精密旋轉提拉機構兩部分組成,可用于TSSG法生長各種材料單晶 ? **溫度可達1200℃ ? 提拉和旋轉速度采用PLC觸摸屏控制,操作簡便 ? 爐體可移動,裝樣方便 ? 箱式爐采用雙層殼體結構,使得表面溫度<60℃ |
工作電源 | ? AC220 50/60Hz ? 功率:4KW |
爐體結構參數 | ? 加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲 ? 爐膛材料:氧化鋁多晶纖維 ? 內部加熱區尺寸:φ240mm×200mm(H) 加熱腔體圖 |
工作溫度 | ? **工作溫度:1200℃(<1h) ? 連續使用溫度:1100℃ |
控溫方式 | ? 采用歐陸儀表進行控溫,控溫精度:±0.1℃ ? 智能化24段可編程控制 ,可設置24段升降溫程序 ? 升溫速率:0-10℃/min(建議≤5℃) |
籽晶提拉旋轉機構 | ? PLC觸摸屏控制,操作方便 ? 步進電機控制 ? 籽晶**直徑:30mm ? 提拉行程:250mm ? 提拉速度:0.1-50mm/h ? 旋轉速度:0.1-23r/min ? 快速升降速度:50mm/min |
產品尺寸 | ? 650mm L*540mm W*1950mm H |
產品重量 | ? 120kg |
應用注意事項 | ? 提拉旋轉機構可與本公司1600℃井式爐結合使用,**溫度可達1600℃,用于高熔點晶體生長工藝 |
質量認證 | ? CE認證 |
質保期 | ? 一年保質期,終生維護(設備相關耗材如O型圈、加熱元件等不在保修范圍內) |
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