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氮化鉭(Tantalummononitride)為黑色六方結晶，分子式為TaN
分子量為194.95，相對密度為13.4，熔點為3090℃，顯微硬度為1100kg/mm2，熱導率為9.54W/(m·K)，電阻率為128μΩ·cm。
δ氮化鉭為黃綠色結晶，屬氯化鈉型結晶，相對密度為15.6。晶格常數為a=0.4336nm，c=0.4150nm。熔點為2950℃，顯微硬度為3200kg/mm2，轉化點溫度為17.8K。不溶于水、酸，微溶于王水，溶于氫氧化鉀并分解釋放出氨，加熱至2000℃即釋放出氮氣。
1.用來制造精確片狀電阻的材料，氮化鉭電阻則可抵抗水汽的侵蝕。
2.用作超硬質材料添加劑，可制備純的五氯化鉭：用于噴涂，增加變壓器集成線路、二極管的電穩定性。在制造集成電路的過程中，這些膜沉積在硅晶片的頂部，以形成薄膜表面貼裝電阻。用來制造精確片狀電阻的材料，氮化鉭電阻則可抵抗水汽的侵蝕氮化鉭材料被用于制作芯片導線的保護層。
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