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單腔型高真空蒸鍍系統
產品詳情：
單腔設計，緊湊經濟，輕松擁有高質量鍍膜系統。
技術參數：
1極限真空：<2E-7Torr
2排氣速率：從ATM到3E-6Torr<15min
3基板加熱 ：RT-300oC
4高分辨率鍍膜速率顯示及控制：±0.015?
5**基板尺寸：200mm
6前后門設計可集成手套箱：可選配手套箱
7人機界面：自動化人機操作界面
8安全：全工業標準安全互鎖，工業安全聯鎖，報警裝置
廈門韞茂科技有限公司憑借在先進材料設備業務方面多年的經驗，韞茂為新型芯片，半導體和鋰電池領域的新材料開發和生產，提供***的納米工藝設備和服務解決方案。根據您的特殊需求，我們為您定制打造創新納米加工平臺，保證高品質的設計，多功能，易于使用的界面，嚴格的安全控制，以及快速的交付和服務。
產品詳情：單腔設計，緊湊經濟，輕松擁有高質量鍍膜系統。
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