出口直徑（mm）：
-進口直徑（mm）：
-泵軸位置：
其他驅動方式：
其他輸送物料：
-連接方式：
其他材質：
其他口徑：
-壓力：
-設計標準：
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· 概況原理
渦旋真空泵主要由固定渦旋盤與驅動渦旋盤構成。驅動渦旋盤在固定渦旋盤中轉動，產生一個旋轉輸送動作，將氣體從渦旋盤外緣吸入，然后將其在兩個渦旋盤間壓縮并輸送至渦旋盤中央。
該工作原理無需任何潤滑，實現了完全干式壓縮。由于軸承與壓縮腔室分離，抽送的氣體能夠保持清潔，不會被軸承潤滑脂污染。另外，其緊湊的設計 (≤ 1x10-6 mbar L/s) 能夠防止抽送的氣體被外界空氣污染。日常的維護僅限于更換渦旋盤端面密封條。操作人員無需任何專用工具，在幾分鐘內便可完成更換。
· 主要特點
1. 抽速范圍廣，從1 L/s到16 L/s；
2. 極限真空度達到1 Pa；
3. 全無油，不返油，低能耗
4. 體積小、重量輕
· 主要用途
1. 分析測試儀器/能譜儀/掃描電鏡
2. 真空鍍膜（PVD/CVD/LPD等）
3. LED/LCD/激光管抽真空與封裝
4. 電子束焊接/激光焊接
5. 真空爐/單晶爐/烘箱
6. 手套箱/排氣臺
7. 預處理室/樣品傳輸室抽真空
8. He質譜檢漏
9. 空間環境模擬
10. 分子泵前級
11.冷凝泵再生
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