主成分含量(%):
-制作方法:
-密度(kg/m3):
-純度:
-莫氏硬度:
-白度:
-目數:
-品級:
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Showerhead,應用于半導體集成電路制程刻蝕設備中,在晶圓制造刻蝕環節,作為附加電壓的電極,還作為是刻蝕氣體進入腔體的通路,是晶圓制造刻蝕環節所必需的核心部件。
技術優勢
1.原料自制品質可控,具有成熟的加工和清洗技術,可以滿足客戶不同的表面狀態需求。
2. 氣孔內壁加工后無破碎層。
3.*小加工孔徑為0.2mm。
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