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3.電感耦合等離子體法
(1)電感錫合等離子體原子發射光譜法(ICP-AES)
高頻感應電流產生的高溫將反應氣加熱、電離，利用元素發出的特征譜線進行測定譜線強度與重金屬量成正比。ICP-ES法靈敏度高，干擾小，線性范圍寬，可同時或順序測定多種金屬元素。
(2)電感耦合等離子體質譜法(ICP-MS)
將電感據合等離子體與質譜聯用，利用電感提合等富子體使樣品汽化，將待測金屬分離出來，從而進入質譜進行測定，通過離子荷質比進行無機元素的定性分析、半定量分析、定量分析，同時進行多種元素及同位素的測定，具有比原子吸收法更低的檢出限，是痕量元素分析領域中先進的方法，但價格昂貴，操作復雜，易受污染。
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