非金屬電熱元件:
其他金屬電熱元件:
其他燒結氣氛:
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C/C復合材料大型沉積爐
用途:
可用于以碳氫氣體(如C3H8等)為碳源的復合材料的化學氣相沉積,如C/C復合材料、SiC復合材料等的CVD、CVI處理。
特點
化學氣相沉積爐主要配置
結構形式:臥式-單開門/雙開門;立式-上出料/下出料
爐門:絲杠升降//液壓升降/手動升降;手動鎖緊/自動鎖圈鎖緊
爐殼:全碳鋼/內層不銹鋼/全不銹鋼
爐膽:軟碳氈/軟石墨氈/硬質復合氈
加熱器:等靜壓石墨/模壓三高石墨/細顆粒石墨
工藝氣路系統:體積/質量流量計;手動閥/自動閥;進口/國產
真空泵和真空計---進口/國產
人機界面:觸摸屏/工控機
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