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凈化柱（單柱） | 功能：除水&除氧，氣路系統密封循環凈化、再生活化。 |
容器材料：SUS304不銹鋼，卡套接口316不銹鋼。 | |
凈化材料：銅觸媒（德國BASF）5公斤,分子篩（美國UOP）5公斤。 | |
凈化能力：除氧60L，除水2公斤，系統密閉，泄漏率<0.001%vol/h。 | |
水氧指標：穩定控制<1ppm,極限可達<0.1ppm。 | |
循環系統 | 工作氣體：氮氣（N2）/氬氣（Ar）/氦氣（He），純度99.999% |
循環能力：集成風機流量：90m3/h，可變頻調節風量；可提供更大風量風機，風量145m3/h、180m3/h可選。 | |
再生 | 操作：PLC程序控制，自動完成再生過程。 |
再生氣體：工作氣與氫氣混合的氣體（H2比例5%~10%） | |
真空泵 | 規格：抽速8m3/h、12m3/h或16m3/h可選，品牌：英國愛德華、德國萊寶、國產一線品牌等，提供多種配置選擇。 |
閥門 | 主閥：DN40KF，電磁氣動角閥，鋁合金或不銹鋼閥體。 |
氣路控制閥：電磁閥，Φ10不銹鋼管，集成閥座氣路控制系統。 |
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