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Hiden SIMS Workstation二次離子質(zhì)譜儀
Hiden SIMS Workstation二次離子質(zhì)譜儀

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英國(guó)

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北京英格海德分析技術(shù)有限公司

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儀器簡(jiǎn)介:

1. 適合做多層薄膜的深度分析。

2. 很好的、耐用的、普通目的的二次離子質(zhì)譜儀。

3. 方便使用。

4. 樣品可以手動(dòng)轉(zhuǎn)換,由于分析速度快所以每天可以分析一定數(shù)量的樣品。

5. 我們的系統(tǒng)可配置快速原子槍,使我們可以輕松處理絕緣的樣品。

6. 我們還可以做元素成像(就象化學(xué)地圖)和混合模式掃描,自動(dòng)測(cè)量正、負(fù)和中性粒子。

7. 我們的系統(tǒng)是典型的超高真空工作臺(tái),很容易滿足很多其它分析的使用。

結(jié)構(gòu)緊湊,但不損失性能。真正的高性價(jià)比。

技術(shù)參數(shù):

質(zhì)量數(shù)范圍:300,510或1000amu

分辨率:5%的谷,兩個(gè)相連的等高峰。

檢測(cè)器:離子計(jì)數(shù)檢測(cè)器,正、負(fù)離子檢測(cè)

檢測(cè)限:1:10E7

質(zhì)量過濾器:三級(jí)過濾四極桿(9mm桿)

主離子槍: A,氧離子或其它氣體,能量到5KeV

B,Ga離子槍,能量25KeV(選配)

空間分辨率:A:100~150um

B: 50nm

取樣深度:2個(gè)單分子層(靜態(tài))

不受限制(動(dòng)態(tài))

主要特點(diǎn):

? 高靈敏度脈沖離子計(jì)數(shù)檢測(cè)器,7個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)范圍

? SIMS 成像,分辨率在微米以下

? 光柵控制,增強(qiáng)深度分析能力

? 所有能量范圍內(nèi),離子行程的*小擾動(dòng),及恒定離子傳輸

? 差式泵3級(jí)過濾四極桿,質(zhì)量數(shù)范圍至1000amu

? 靈敏度高 / 穩(wěn)定的脈沖離子計(jì)數(shù)檢測(cè)器

? Penning規(guī)和互鎖裝置可提供過壓保護(hù)

? 通過RS232、RS485或Ethernet LAN,軟件 MASsoft控制

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10分

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10分

易用性

10分

性價(jià)比

10分
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