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儀器簡介：

EQS 是差式泵式二次離子質譜（SIMS-Secondary Ion Mass Spectrometer ‘Bolt-On’ probe），可分析來自固體樣品的二次陰、陽離子和中性粒子。采用**技術的SIMS 探針，便于連結到現有的UHV表面科學研究反應室。

技術參數：

應用：

· 靜態 /動態SIMS

· 一般目的的表面分析

· 整體的前端離子源，便于RGA和 SNMS

· 兼容的離子槍/ FAB 槍

· 成分/污染物分析

· 深度分析

· 泄漏檢測

· 與Hiden SIMS 工作站兼容

主要特點：

· 高靈敏度脈沖離子計數檢測器，7個數量級的動態范圍

· SIMS 成像，分辨率在微米以下

· 光柵控制，增強深度分析能力

· 45°靜電扇形分析器， 掃描能量增量 0.05 eV/ 0.25eV FWHM.

· 所有能量范圍內，離子行程的*小擾動，及恒定離子傳輸

· 差式泵3級過濾四極桿，質量數范圍至2500amu

· 靈敏度高 / 穩定的脈沖離子計數檢測器

· Penning規和互鎖裝置可提供過壓保護

· 通過RS232、RS485或Ethernet LAN，軟件 MASsoft控制