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儀器介紹：
近代科學技術的許多學科對各種薄膜的研究和應用日益廣泛，因此，測得薄膜厚度和光學參數已變得更加迫切和重要。在實際工作中，常常使用橢圓偏振法來進行測量。這種方法測量靈敏度和精度較高，并且是非破壞性測量。他能同時測定薄膜的厚度和折射率。
本產品為手動方式調節儀器，測量薄膜的厚度和光學參數。清晰的展示了橢圓偏振測厚儀的各個部件的結構功能，調節方法，使用戶可詳細的了解橢圓儀的原理結構，并培養其動手操作能力。
技術指標：
編號 | 名稱 | 參數 |
1 | 測量范圍 | 1nm-300nm |
2 | 測量*小值 | ≤1nm |
3 | 入射角 | 30°～90°誤差≤0.1° |
4 | 偏振器方位角讀數范圍 | 0°～180° |
5 | 度盤刻度 | 每格2度 |
6 | 游標*小讀數 | 0.05° |
7 | 光學中心高度 | 152mm |
8 | 工作臺直徑 | φ70mm |
9 | 外形尺寸 | 730mm×230mm×290mm |
10 | 主機重量 | 20kg |
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