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TESCAN SOLARIS 新一代超高分辨鎵離子FIB-SEM

TESCAN SOLARIS 是一款鎵離子源的 FIB-SEM 系統，適用于超薄 TEM 樣品制備和其它具有挑戰性的納米加工任務，這些任務要求設備具有**的分辨率、***的離子光學系統和**的納米加工能力。

TESCAN SOLARIS 的 Triglav™ 型 SEM 鏡筒具有超高的分辨率，特別是在低電壓下；鏡筒內探測器系統具有電子信號過濾能力，為獲得更好的圖像襯度和表面靈敏度翻開了全新的篇章。TESCAN SOLARIS 的 Orage™ 型 FIB 鏡筒保證了出色的低電壓離子束分辨率和微加工性能，可以滿足制備小于 20 nm 的、**質量的半導體器件超薄 TEM 樣品的需要。此外，高達 100 nA 的大離子束流可以對生物樣品和材料進行指定位置的、大體積 FIB-SEM 逐層掃描，圖像也具有出色的襯度。

TESCAN SOLARIS 使用了全新的 Essence™ 軟件，軟件用戶界面友好，可以滿足各類應用需求，可定制的軟件布局以及自動化的樣品制備功能，**限度地提升了操作便捷性和工作效率。

TESCAN SOLARIS Ga FIB-SEM 突出特點：

1. 可選擇性采集能量過濾后的電子信號，獲得更好的表面靈敏度和襯度

2. 離子束流變化范圍大，滿足不同精度、體積要求的樣品加工任務

3. *低電壓可達 500 eV，能夠獲得小于 20 nm 且具有極高品質的超薄 TEM 樣品

4. FIB-SEM 層析成像的同時，可獲得 EDS 和 EBSD 數據，快速進行 3D 超微結構研究和微量分析表征

TESCAN SOLARIS Ga FIB-SEM 主要優勢：

新一代 Triglav™ 鏡筒中的鏡筒內探測器系統經過進一步優化，信號檢測效率提高了三倍以上。此外，該系統還擴展了檢測能力，能夠采集能量過濾后的軸向背散射電子信號，通過選擇性地收集低損耗背散射電子來獲得更好的襯度和表面靈敏度。

*世界一流的樣品制備質量

Orage™FIB 鏡筒采用先進的離子光學設計，在整個電壓范圍內均可以保證優秀的分辨率，同時還可以提供多種樣品制備條件。低電壓下的出色性能使得該 FIB 鏡筒可以執行**挑戰性的納米加工任務，它可以在低電壓下完成*后拋光并獲得小于 20 nm 且具有極高品質的超薄 TEM 樣品。

* 增強的表面靈敏度、襯度

新一代 Triglav™ 鏡筒具有電子信號選擇檢測功能，這一功能可以幫助用戶獲得更好的表面靈敏度并能夠獲得不同的襯度。圖像中可以體現形貌或是材料成分，也可以同時體現這兩者，以便用戶能夠在*短時間內**限度地觀察樣品。

* **限度地制備各類樣品

Orage™ 鏡筒能夠產生高達 100 nA 的離子束流，同時保證離子束的質量。因此，無論是在低離子束流下制備精密的納米結構，還是利用高離子束流以滿足大體積蝕刻的要求，Orage™ 鏡筒****的多功能性都可以滿足該類應用需求。

* 保證**的分析條件

新一代 Triglav™ 鏡筒還具有自適應束斑優化功能，可以提高了大束流下的分辨率，這一特點有利于更好的進行 EDS、WDS 和 EBSD 等分析。此外，肖特基場發射電子槍能夠產生高達 400 nA 的電子束流，電壓也可以快速改變并保證在所有的分析應用下都能夠獲得良好的信號；在進行大離子束流加工時，也可針對不導電試樣進行電荷中和。

* 更充分的利用離子束

快速、高效、高性能的氣體注入系統（GIS）對于所有 FIB 應用都是必不可少的。新一代 OptiGIS™ 單支氣體注入系統具備了所有的這些特性，TESCAN SOLARIS 可配備多達 6 支 OptiGIS。您也可以選擇集成了 5 支同軸噴嘴的氣體注入系統，實現更多樣化的功能。此外，我們還可以提供不同的特殊氣體和實用的平面IC去層方案。

*快速三維分析功能

新型強化的鏡筒內探測系統結合高達 100 nA 的大離子束流，可實現快速數據采集，用于 3D 超微結構研究和 3D 微量分析表征。在 FIB-SEM 層析成像過程中，能夠同時獲得 EDS 和 EBSD 數據，并通過專用軟件進行三維重構，為生命科學或納米材料研究者提供獨特的視角和結果。

* 輕松實現**精度和** FIB 性能

Orage™ 型 FIB 鏡筒配有超穩定的高壓單元和精確的壓電驅動光闌變換器，可在 FIB 預設的參數上快速且高精度的重復切換。 此外，半自動的束斑優化向導允許用戶輕松選擇**的束斑，優化特定應用下的 FIB 條件。

* TESCAN SOLARIS 是 S9000G 升級機型。