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Imina Technologies公司的miBot納米操縱器，是當今世界上*小巧的商業化納米操縱系統，是在光學顯微鏡、掃描電鏡和FIB聚焦離子束顯微鏡上進行微米和納米尺度研究和開發的通用操縱和測量工具。其技術特點如下：

· miBot移動微機器人是Imina納米操縱系統的核心部件，采用革命性的系統設計。其移動方式采用笛卡爾自然坐標系統，操縱和控制直觀、靈活。

· miBot移動微機器人采用壓電陶瓷驅動，具有X/Y/Z/R四個自由度，移動范圍達幾個厘米，但移動精度可保持在納米量級。

· miBot移動微機器人不用螺絲固定，在光學顯微鏡樣品臺上、在SEM/FIB真空樣品室中安裝和移出都非常方便，可以在幾分鐘之內完成。

· miBot移動微機器人具有很高的機械穩定度和熱穩定度，抗外界震動干擾能力強。

· Imina提供整體解決方案。可根據不同的應用要求，提供標準或定制的miBot移動微機器人工作平臺，并提供相應的測量和控制系統。

miBot納米操縱系統的主要應用：

· 納米結構的電學測量和表征

· 納米結構的力學測量和表征

· 微米、納米尺度操縱

· 透射電鏡、掃描電鏡、拉曼和其它分析儀器的樣品制備

· 表面科學實驗和研究

· 納米連接技術研發

· 原位納米尺度樣品定位

· 單細胞操縱

miBot納米操縱系統的主要技術參數：

Degreesof freedom 4 (2 translations and 2 rotations)

Dimensions body: 20.5 x 20.5 x 13.6 mm³; arm: 8.3 mm (without micro-tool)

Weight 12 g (without micro-tool)

Operatingrange X and Y: typ. 5 cm (limited by cable); R:± 180°; Z: 42° (arm rotation)

Scanning range X: 440 nm; Y: 250 nm; Z: 780 nm

Speed X and Y: < 2.5 mm/s; Z: < 150 mrad/s

Resolution X: 1.0 nm; Y: 0.5 nm; Z: 1.5 nm

Forcesand torques X and Y: push: 0.3 N， hold: 0.2 N;

Z: lift: 0.7 Nm (5 g)， hold: 0.9 Nm (6 g)

Temperaturerange 273 K to 353 K

Lowestpressure 10^-7 mbar

Electrical probing voltage range: ± 100 V; current: < 100 mA; signal resistance: typ. 3.5 Ohm