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透射電子顯微鏡

透射電鏡

**個專門用于半導體行業的TEM

Thermo Scientific Metrios™系統是**臺透射電子顯微鏡（TEM），專用于提供半導體制造商開發和控制其晶圓制造工藝所需的快速，精確的測量。基本TEM操作和測量程序的廣泛自動化將對專業操作員培訓的要求降至*低。其先進的自動計量例程比手動方法具有更高的精度。與其他TEM相比，Metrios TEM旨在為客戶提供更高的通量和更低的每樣品成本。

半導體的Metrios SEM

大量TEM數據，準確且可重復-以*低的每次采樣成本

Thermo Scientific Metrios™透射電子顯微鏡（TEM）是**款專門提供半導體制造商開發和控制其晶圓制造工藝所需的快速，精確測量的TEM。

先進的邏輯和存儲器制造過程越來越依賴于精確結構和分析數據的快速周轉，從而能夠快速校準工具集，診斷良率偏差并優化過程良率。在低于28nm的技術節點上，尤其是在實施非平面器件設計的情況下，傳統的SEM或基于光學的分析和檢查工具無法提供有用的數據。我們的Metrios TEM自動執行基本的TEM操作和測量程序，并**限度地減少了對專業操作員培訓的要求。其先進的自動計量例程比手動方法具有更高的精度。Metrios TEM旨在以*低的每次樣品成本提供大量TEM數據，準確且可重復的操作。

Thermo Scientific™Metrios™DX TEM結合了可靠的技術和創新的新功能，是半導體和存儲環境的**平臺，需要對越來越復雜的結構和不斷縮小的幾何尺寸進行大量精確的測量。

主要好處

始終如一的，可重復的，精確的，從頭開始的設計，可提供可重復的TEM和基于S / TEM的成像，分析和可計量的計量，而無需操作員偏見

保證計量精度，TEM和S / TEM的畸變和放大率校準中的組合誤差小于1％

自動化的EDS和混合計量，通過自動化獲取和量化EDS數據。在關鍵的關鍵尺寸上使用元素對比來擴展STEM

通過樣品制備，拔除和成像跟蹤工作流程的連通性，關鍵過程數據。可以離線應用計量，以**程度地獲取工具。所有成像和計量數據都整合在基于Web的圖像查看器中。