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Micro-Vu的高精度視覺量測系統具有強大的功能性，可被廣泛的應用在各種量測的需求的機構設計造就了高性能的速度與精度，前瞻性的機電整合技術，運用USB傳輸，簡化了量儀與電腦的溝通InSpec for Windows 幾何量測軟件提供簡易且人性化的接口，讓量測、資料轉換及報表輸出變得容易操作與上手，InSpec提供的光源系統提升了尋邊與自動對焦的辨識能力與功能。
規格參數：
Model | EXCEL 1052UM／UC | EXCEL 1054UM／UC |
測量范圍 毫米（英寸） | 1050×1050×250mm （41.3×41.3×9.8） | 1050×1050×400mm （41.3×41.3×15.7） |
儀器外觀尺寸 毫米 | 1720×2000×1850mm | 1720×2000×2000mm |
凈重 | 2750kg | 2850kg |
光刪尺分辨率 | 0.1μm | |
X，Y軸精度 | 3.3+L／200 | 4.3+L／150 |
Z軸精度 | 2.8+L／100 | 3.8+L／100 |
鏡頭倍率（光學，數位） | 36x（12x，3x） | |
輪廓光，同軸光，表面光 | 紅光LED技術（黑白機種使用） 白光LED技術（彩色機種使用） | |
放大倍數 | 15x -540x to 30x -1080x | |
計算機規格 | Intel CPU Core 2.0GBHz，1GB RAM，160GB HD，DVD Combo | |
輸入電壓 | 93-264 VAC | |
輸入電流 | 47-63 Hz | |
操作環境溫度 | 20℃±2.0℃ | |
靜置環境溫度 | -25℃~60℃ | |
適當的溫度 | 30%-80% | |
儀器噪音值 | <70db(a)< span=""> | |
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