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高頻等離子表面處理裝置
■ 操作性·功能
● 射頻13.56Mhz 0-1000W高功率機型，DP和RIE標配的雙模等離子清洗機，可對應更多復雜工藝.
● 標準配備電離式真空計，實時顯示真空度，使得控制更為精確。
● 液晶觸摸屏控制，操作使用簡單，調取數據簡單。
■ 安全性·保護
● 標準配備真空泄漏檢測功能，可以根據需要檢查設備的真空以及泄漏情況。
● 裝載有過電流漏電保護、真空泵、RF發生器，以及電源各部分均標準配備過電流漏電保護裝置。
● 發生器保護回路：超負荷或者RF發生器發生問題時，可自動調低頻率來保護發生器。
● 門鎖開關：門在未完全關閉時無法啟動電源。
● 側板鎖：本體側板突然打開或者未關好時，會停止電源。
● 緊急停止按鍵（EMO）標準配備。
● 當裝置發生異常時，裝置本體發出警告信號的同時，進行以下動作1）關閉主閥。（2）關閉供氣閥。（3）停止輸出振蕩器。(4)停止處理時間。（5）聲光報警
■ 產品優勢
●等離子清洗機清洗效果好，清洗效率高，功率大，應用范圍廣。
●DP&RIE雙模處理，可對應更復雜的工藝。
●搭載高精度適配器，高性能RF電源。
●可變電極構造提高等離子處理效果。
●安全保護措施綿密，有效防止對機器以及樣品的損害。
●可根據需求的具體情況提供產品定制服務。
■ 技術規格
型號 | V1000 | |
方式 | DP&RIE雙模標準裝備 | |
性能 | 發生器功率： | 0-1000W |
發生器頻率： | 射頻RF13.56Mhz | |
發生器匹配方式： | 自動匹配（Auto matching) | |
構成 | 腔體材質： | 鋁制腔體 |
腔體內尺寸： | 400×400×384mm 約61.4L | |
電極尺寸： | 300mm×300mm | |
反應氣體： | 雙路工藝氣體，可支持氧氣、氬氣、氮氣等非腐蝕性氣體 | |
填充氣體： | 一路氮氣 | |
控制方式： | 全自動控制，5.7寸液晶觸摸屏 | |
真空度顯示： | 測量高真空的電離式真空計標準配備，實時顯示腔體內真空度 | |
配管材質： | SUS不銹鋼以及特氟龍 | |
門： | 鉸鏈門 | |
涂裝顏色： | 標準色，白系 | |
外形尺寸： | W700×D800×H1600mm（高度含警報燈） | |
真空泵： | 無油干式真空泵 抽速100m3/hour，吸氣口NW40，排氣口NW25 | |
電源規格： | 3phase AC200V 50/60Hz 8A | |
重量： | 約215kg | |
附屬品 | 真空管件一套、真空轉接接頭一套 | |
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