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Tergeo EM等離子清潔儀
Tergeo EM等離子清潔儀

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美國

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南京覃思科技有限公司

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Tergeo EM型SEM及TEM樣品/樣品桿清潔專用等離子清潔儀

PIE Scientific專注研發先進的實驗室用等離子儀器,用于SEM/TEM樣品清潔、光刻膠蝕刻、等離子體增強沉積、表面處理與活化。我們的宗旨是:將半導體和核工程研究中開發的**等離子技術集成到經濟實用的實驗室用等離子儀器。

專為去除SEM & TEM樣品的碳氫污染而設計。特有的雙清洗模式(immersiondownstream)能夠處理各種不同的樣品,從嚴重污染的電子光學孔徑光闌到各種脆弱易損樣品,如石墨烯、碳納米管、類金剛石碳膜以及多孔碳支持膜銅網上的TEM樣品。石英樣品托板上的孔洞可以安裝標準SEM樣品托。特別設計的適配器可以清潔不同廠家的TEM樣品桿。

特點:

1. 系統具有雙等離子源。浸入式等離子源用于主動表面處理、光刻膠蝕刻。遠程式等離子源用于溫和的污染清除以及脆弱易損樣品的表面活化

2. 13.56MHz高頻射頻發生器

3. 7英寸觸摸屏控制界面,全自動操作

4. 標配75W版本,可選150W版本

5. 標配2路氣體輸入,可選第三路氣體輸入

6. 可選與FEI、JEOL、HITACHI等TEM樣品桿配套的專用適配器

7. AC輸入:通用(110~230V, 50/60Hz)

除了Tergeo EM型SEM & TEM樣品清潔專用等離子清潔儀,另有Tergeo Basic基本型等離子清潔儀和Tergeo Plus型大腔室等離子清潔儀,歡迎選購!

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產品質量

10分

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10分

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10分

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Tergeo EM等離子清潔儀信息由南京覃思科技有限公司為您提供,如您想了解更多關于Tergeo EM等離子清潔儀報價、型號、參數等信息,歡迎來電或留言咨詢。
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