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TMC的主動隔振實驗臺具有先進的隔振性能。通過采用新型CSP®(緊湊型亞赫茲鐘擺隔離系統)進行水平減振以及PEPS-VX®慣性阻尼器進行垂直減振,我們生產出一種性能優越的六自由度超凈實驗桌。
這個先進的隔離技術可以與TMC光學平臺或其他TMC產品結合使用,同樣也可以被設計用于OEM應用以及設備。
在2Hz時,垂直隔振10 dB以及水平隔振20dB(此振動頻率下其他實驗臺會放大振動)的特性,使此主動隔振實驗臺對于振動環境異常嚴重的大部分應用都是理想的。
應用包括:
?原子力顯微鏡
?掃描探針顯微鏡
?商業干涉儀
?電生理學記錄
?半導體檢測設備
基本參數
隔離器固有頻率(低輸入)
垂直方向=0.5Hz,水平方向=0.5Hz
隔離器效率@2HZ
垂直方向=10dB 水平方向=20dB
推薦負載能力:545Kg
整體材料:不銹鋼平臺, 黑色氧化處理中等材料框架
船運重量:544kg
特性
?用于距離隔離表面1微米的非接觸式高度控制的pepS®II精密電子定位系統
?PEPS-VX®隔振配合peps用于三個自由度的低頻隔振
?桌面式配置的剛性鋼框架結構
?高阻尼、高剛度的2in.厚的不銹鋼層壓板
?平臺可選的螺紋孔網格
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