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樣品傳輸系統為模塊式，便于組合
用途
● 提高各種材料的粘接性、表面改質處理
● 清洗各類基板。
● 電子部品、材料表面改質。
● 去除有機物和自然氧化膜。
特點
● 體積小，節省空間。
● 選用小型腔體，反應效率高。
● 更容易嵌入生產線使用。
● 可通過操作面板自由切換等離子模式。
● 配備冷卻反應臺。
內槽
技術規格
型號 | YSP600U | YSP2KU |
模式 | RIE（DP模式選購） | |
高頻輸功率 | 600W | 2000W |
反應臺尺寸 | W300×D300mm | W600×D600mm |
反應氣體 | 2進氣系統（氧氣、氬氣） | |
反應氣體流量控制 | 質量流量控制器 | |
氣體導入口 | 反應氣體2個、填充氣體1個、空氣1個 | |
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