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產品功能
對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、共面性、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、 腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、蝕刻情況、彎曲變形情況、加工情況、材料支撐率等表面形貌特征進行 測量和分析。被測物體的尺寸通常不大于 150*100mm，更大尺寸的測量系統可以定做；工作臺**承載重 量 40Kg。
產品廣泛應用于汽車工業、航空航天、造紙工業、鋼鐵工業、薄膜加工、半導體加工、MEMS 等行業。
應用范圍
* 機械密封的平面度和粗糙度測量；
* 電子元件表面的平面度、翹曲度和粗糙度測量分析；
* BGA 焊料球的共面性、封裝是否變形以及所有的焊料球是否都存在的檢查分析；
* 造紙行業對紙張表面的紋理分析；
* 膜片的厚度及涂層的高度測量等；
* 化學蝕刻產品的蝕刻深度和面積測量；
* 壓花材料表面特征分析，如合成材料人造皮革表面形貌測量分析；
* 絲印裝置涂層厚度測量，如電子產品和生物醫療器械等；
* 軋制鋁膜和鋼板表面情況進行三維分析；
* 法醫學上三維表面形貌測量分析；
* 壓電陶瓷部件的輪廓和表面形貌特征測量分析；
* 牙齒的腐蝕和磨損情況分析；
* 醫學上如人造皮膚的輪廓分析；
* 溝槽深度和截面計算分析；
* 激光蝕刻表面的雕刻深度測量；
* 各種柔軟材料、易腐蝕材料、傳統接觸方式無法檢測的產品的表面形態測量和分析；
* 其他各種小型部件的平面度、粗糙度、波紋度和輪廓測量分析。
技術規范
掃描儀大尺寸（長*寬*高） | 740*542*（780-835）mm |
掃描儀**重量 | 40Kg |
電控部分尺寸 | 570*700*750mm |
電控部分重量 | 40Kg |
計算機顯示器 | 15” LED 顯示器 |
照明與定位攝像頭（可選） | 14” CRT |
掃面平臺尺寸 | 380*280mm |
X 和 Y 軸行程 | 150mm*100mm |
Z 軸行程 | 100mm |
電源 | 220 - 240 VAC， 50/60Hz |
使用環境 | 10-35℃ |
X 及 Y 軸掃描點*小間隔距離 | 1μm |
X 及 Y 軸掃描點*，大間隔距離 | 9.999mm |
標準配置掃描樣品**重量 | 6Kg |
數據采集**速度（取決于傳感器及設定） | 20000 點/秒 |
**掃描速度（取決于傳感器及設定） | 80mm/秒 |
回程速度 | 100mm/秒 |
**掃描點數 | 576 萬點 |
傳感器選型方案
傳感器 型號 | 垂直 測量范圍 | 物鏡測量距離 mm | 分辨率 | 線性度 （%+/-量程） | 技術 原理 |
S3/011 | 110μm | 3.3 | 5 nm | 0.1 | 白光色差技術 |
S11/03 | 300μm | 11 | 12 nm | 0.1 | 白光色差技術 |
S13/1.1 | 1.1 mm | 12.7 | 25 nm | 0.1 | 白光色差技術 |
S16/2.5 | 2.5mm | 16.4 | 75 nm | 0.1 | 白光色差技術 |
S29/10 | 10mm | 29 | 280 nm | 0.1 | 白光色差技術 |
S20/20 | 20mm | 19.6 | 600 nm | 0.1 | 白光色差技術 |
L25/2H | 2 mm | 25 | 0.1 μm | 0.05 | 三角測量技術 |
L35/10H | 10 mm | 35 | 0.5 μm | 0.03 | 三角測量技術 |
L50/20H | 20 mm | 50 | 1 μm | 0.03 | 三角測量技術 |
L70/50H | 50 mm | 70 | 2.5 μm | 0.03 | 三角測量技術 |
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