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非觸式微區(qū)形貌測試系統(tǒng)OSP370/470
使用非接觸式激光位移傳感器，OSP370模塊可快速準確地對非觸表面進行高精度測量。在不接觸樣品表面的情況下，它可以在10mm的高度范圍內(nèi)提供小于1微米高度分辨率的3D表面特寫影像。
非觸式微區(qū)形貌測試系統(tǒng)OSP370/470
各種可選配件，包括各種可選探針，可選池體(Environmental TriCellTM， μTriCellTM和Shallow μTriCellTM)，長工作距離光學視頻顯微鏡(VCAM2)和3D表面陰影渲染軟件(3DlsoPlotTM)。能配置到一個特定的應用程序并升級，使M370獨特靈活，同時保持頂端的性能。
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