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太赫茲材料THz materials
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上海屹持光電技術有限公司

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太赫茲 (THz) 波是頻率為~0.1-10 THz (~3 mm - 30 μm, 3 cm-1 - 300 cm-1) ,介于微波和中紅外區域的電磁波。和可見和紅外光相比,THz波可以穿透常規的材料,如:皮膚,塑料,衣服或者紙材料。由于光子能量低,因此,他不會造成和離子輻射(X光)一樣的損害。這些特點使其能夠應用在處理(如藥物生產),質量控制以及THZ成像領域。現在也很多人想把它應用在安保,包裹檢查,半導體特征分析,化學組成分析以及生物研究領域。

對于傳統的THz應用,我們采用High Resistivity Float Zone Silicon (HRFZ-Si)材料,因為他是研究得*多的材質,而且在THz波段有很好的透過率。同時,我們也研究了可應用在THz波段的其他材料。

在下面,你就能看到我們采用的其他材料在THz波段的透射光譜和其他特點。我們用ABBFTIR光譜儀Bomem DA3Bruker IFS 125HR (測量精度為2-3%@< 100 μm4-5% @> 100 μm)來測量THZ波。近紅外的測量采用Perkin Elmer “Lambda- 9” (測量精度< 0.5%)

1, 晶體

晶體如硅,石英和藍寶石在THZ光學元件中都是常用的材料。

1.1 高阻硅(HRFZ-Si)

除了人造鉆石,高阻硅是**的適合極寬范圍從(1.2 μm) 到mm (1000 μm)波的各項同性晶體材料。和鉆石相比,它要便宜的多,并且生長制造更容易。而且他尺寸更大,更容易制造,THZ技術的快速發展,就基于該優點。對于THZ應用,我們提供在1000 μm (對于更長波長,3000甚至8000微米)透過率達到50-54%的High Resistivity Float Zone Silicon (HRFZ-Si)。

Fig.1 Transmission and reflection of HRFZ-Si 5.0 mm-thick sample in THz range.

HRFZ-Si 在THZ波段傳輸損耗低。如圖2所示,HRFZ-Si 中的THZ波形和空氣中的波形非常相似。這表明HRFZ-Si 的吸收很少。

Fig.2 The THz signals transmitted through air and HRFZ-Si.(*)

合成電解質硅的介電常數由傳導率決定(例如:自由電子-載流子濃度)。圖3顯示的是在1THZ下,不同純度下的硅的介電常數.低摻雜的介電常數接近真實值,大約等于高頻介電常數。隨著摻雜濃度的提高,真實的介電常數將變成負數,而且不能被忽略。介電常數表征的是THZ波的傳輸損耗特性。損耗系數可以用下面的公式計算:tanδ=1/(ω*εv*ε0*R), 這里 ω – 圓頻率, εv – 真空下的介電常數(8.85*10-12 F/m)。ε0 –硅的介電常數(11.67), R是電阻值。例如,1THZ下,10 kOhm 阻值的HRFZ-Si損耗系數為1.54*10-5。

Fig.3 Real (solid, ε1) and imaginary (dashed, ε2) part of dielectric permittivity of n-type silicon with different impurity concentration at 1 THz.(**)

1.2石英晶體

Z-cut的石英晶體是傳輸50 μm以上波長的**材料之一。Z-cut的石英晶體窗口鏡傳輸可見光,很容易用He-Ne激光器來調準直。

Fig.4 Transmission and reflection of crystal quartz 1.0 mm-thick sample.

由于色散非常大,石英晶體材料的透鏡將對可見和遠紅外的產生不同的焦距。如果需要對光學系統準直,那就必須考慮透鏡的色散:

波長, μm

no

ne

0.589

1.544

1.553

6.0

1.32

1.33

10.0

2.663

2.571

30.0

2.5

2.959

100.0

2.132

2.176

200.0

2.117

2.159

333.3

2.113

2.156

石英晶體是雙折射材料,如果電磁波的偏振態很重要,那就必須考慮雙折射問題。我們用X-cut的石英晶體來制作λ/2和λ/4的THZ波片。

1.3藍寶石

藍寶石和石英晶體一樣,對于THZ波段和可見光波段是透明的。可以從下面圖看出,對于>600 μm波段,光譜傳輸曲線并不取決于厚度的測量誤差。在小于600 μm 波段,樣品的厚度從1到5mm,透過率變化很大。對于薄的樣品,在很短的波長,透過率就已經飽和了。

Fig. 5 Transmission and reflection of sapphire samples with different thickness.

就象 HRFZ-Silicon一樣,Eachwave提供的藍寶石也可以在光電導天線上,因為他們對于THZ波段的折射率幾乎一樣。

2.聚合物

在大量聚合物中,有一些對THZ波是透明的,反射率很低。一般意義上說,**的材料是TPX (polymethylpentene), polyethylene (PE), polypropylene (PP),和polytetrafluoroethylene (PTFE or Teflon).對于長波長,這些聚合物的透過率曲線也很平坦。 對于短波長,主要是<200 μm,內部的不均勻性就會導致一些散射和波動。也就是說,聚合物對短波長呈現出不透明的特點。

2.1 Polymethylpentene (TPX)

TPX 是所有已知聚合物中*輕的。它對紫外,可見和THZ波段是透明的。當然也就是可以用He-Ne激光器來進行準直。該聚合物折射率約為1.46,和波長關系不大:

λ, μm

n

0.633

1.463

24

1.4568

60

1.4559

300

1.46

667

1.46

1000

1.4650

3191

1.466

TPX對mm波的傳輸損耗非常低。它有非常優良的熱阻,并且能抗一些商用的化學品的腐蝕。

Fig. 6 Transmission of TPX 2 mm-thick sample. THz region.

Fig. 7 Transmission of TPX 2 mm-thick sample. NIR&MIR regions.

Fig. 8 Transmission of TPX 2 mm-thick sample. UV&VIS&NIR ranges.

TPX的主要參數:

密度, g/cm3

0.83

抗張強度

4100 psi ~28.3 MPa

拉伸模量

280000 psi ~1930.5 MPa

抗張伸展率, %

10

繞曲強度

6100 psi 42.1 MPa

繞曲模量

210000 psi 1447.8 MPa

熱偏溫度, °C

100

融化溫度, °F/°C

464/240

吸水率 (ASTM-D 1228), %

<0.01

透水汽性 (thk 25 μm, 40C, 90%RH), g/m2*24h

110

透氣性y (thk 100 μm), cm3/m2*d*MPa

120000

TPX是很硬的固體材料,可以用來加工成不同的光學元件,如透鏡和窗口鏡。而且通常TPX還可用在CO2激光泵浦分子激光的系統中作為輸出窗口鏡。因為它對整個THZ波段都是透明的,并且可以反射10微米的泵浦光。TPX窗口鏡還可以在低溫保持器中作為“冷”窗口。因為TPX在THZ波段的透明度和溫度無關,折射率的溫度系數3.0*10-4 K-1 (for the range 8-120 K)。

Fig. 9 Temperature dependence of refractive index.(***)

和其他用在THZ波段的材料比較,TPX的特性更好,例如它是Picarin (Tsurupica)透鏡很好的替代品。另外,屹持光電提供的TPX更便宜,而且比Picarin更容易獲得。

Fig. 10 Transmission of 2 mm-thick samples of TPX, Picarin, and HDPE.

2.2 Polyethylene (PE)

PE是輕的彈性晶體材料。它可以加熱到110°C,也可以冷卻到-45 ÷ -120°C。PE擁有良好的介電特性,防腐蝕性和抗輻射性。但是,它在紫外波段和油膩的環境下不夠穩定。在生物學上來講,PE很不活躍,很容易處理。在23°C下密度為0.91-0.925 g/cm3,張力流限為8-13 MPa,彈性模數為118 - 350 MPa,在很寬的光譜范圍內折射率都約為1.54。通常,高密度的polyethylene (HDPE)也來作為組件材料。除了作為厚透鏡和窗口鏡,薄的HDPE還可用來作為THZ偏振片。我們用HDPE作為Golay Cell的窗口鏡。

Fig. 11 Transmission of 2 mm-thick HDPE sample. THz region.

Fig. 12 Transmission of 2 mm-thick HDPE sample. NIR&MIR region.

Fig. 13 Transmission of 2 mm-thick HDPE sample. VIS&NIR region.

很遺憾, HDPE對可見光的透過率非常低,因此,它不能用來作為光學系統的準直元件。

我們還應該注意到HDPE的THZ透射率并不取決于溫度,因此可以作為低溫保持器的窗口鏡。折射率的溫度系數為6.2*10-4 K-1 (for the range 8-120 K)。

Fig. 14 Temperature dependence of refractive index (***)

2.3Polytetrafluoroethylene (PTFE, Teflon, in Russian - Ftoroplast)

PTFE 在室溫下是一種白色的固體,密度約為2.2 g/cm3。熔點為327°C, 在-73°C 到 204°C溫度范圍內它的主要特點都差別不大,在比較寬的波段范圍內,折射率都約為1.43。

Fig. 15 Transmission of PTFE film ~0.1 mm-thick. THz region.

Fig. 16 Transmission of PTFE film ~0.1 mm-thick. NIR&MIR region.

由于對1-7 μm波段范圍內透明度都很高,PTFE薄片通常用來制作IR偏振片。這種偏振片的價格比晶體材料的便宜。這樣就使他們在IR偏振應用中能夠得到大量使用。

PTFE的主要參數:

抗張強度

3900psi

~26.7 Mpa

拉伸模量

8000psi

~551.6 MPa

抗張伸展率 (%)300
繞曲強度 (psi)No break
繞曲模量 (psi)72000
耐壓強度 (psi)2500
耐壓系數 (psi)70000

總結:

所有屹持光電提供的的有機材料,如TPX, PE和PTFE從~200 μm到1000 μm都有幾乎一致的透過率,達到80-90%。當然,他們也可以傳輸更長的波長。

由于反射損耗,晶體材料如硅,石英和藍寶石在THZ波段的透過率很低。對于硅材料,從50 μm開始,透過率為50-54%;對于石英,從120 μm開始,透過率>70%;對于1-2mm厚的藍寶石,從350 μm開始透過率>50%。

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