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Filmetrics F54 光學膜厚測量儀測厚儀
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自動化薄膜厚度分布圖案系統
依靠 F54 先進的光譜測量系統，可以很簡單快速地獲得**直徑 450 毫米的樣品薄膜的厚度分布圖。采用 r-θ 極坐標移動平臺，可以非常快速的定位所需測試的點并測試厚度，測試非常快速，大約每秒能測試兩點。 系統中預設了許多極坐標形、方形和線性的圖形模式，也可以編輯自己需要的測試點。只需掌握基本電腦技術便可在幾分鐘內建立自己需要的圖形模式。
可測樣品膜層
基本上所有光滑的。非金屬的薄膜都可以測量。可測樣品包括：
相關應用
半導體制造
光刻膠 氧化物/氮化物/SOI 晶圓研磨減薄/封裝
液晶顯示器
盒厚 聚酰亞胺 ITO
光學鍍膜
硬涂層 抗反射涂層 濾光片
微電子
光刻膠 硅膜 氧化鋁/氧化鋅薄膜濾鏡
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