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產品簡介 |
Instec的真空型臺式探針臺系列是可從外部移動探針進行點針的桌上型探針臺，涵蓋多型號、多溫度范圍。同時允許溫控、探針電測試、光學觀察和樣品氣體環境控制。探針臺上蓋與底殼構成一個可抽真空的密封腔，亦可內充入氮氣等保護氣體，來防止樣品在負溫下結霜，或高溫下氧化。 |
功能特點 |
桌上型溫控探針臺，占地面積小 |
可編程控溫，涵蓋-190℃~1000℃（具體由型號而定） |
適用 10 mm ~ 300 mm 晶圓和器件 |
可抽真空的腔體，亦可充入保護氣體使用 |
獨立的四個探針，可從設備外部移動探針進行點針 |
可從溫控器或電腦軟件控制，可提供軟件SDK |
*可做定制或改動，詳詢上海恒商 |
溫控參數 | |
溫度范圍 | 涵蓋 -190℃~1000℃（具體由型號而定） |
加熱塊材質 | 鋁合金 或 銀 或 陶瓷 |
傳感器/溫控方式 | 100Ω鉑RTD / PID控制（含LVDC降噪電源） |
*小加熱/制冷速度 | ±0.01℃/min |
溫度分辨率 | 0.01℃ RTD傳感器 0.1℃ 熱電偶傳感器 |
溫度穩定性 | ±0.05℃（>25℃），±0.1℃（<25℃） |
軟件功能 | 可設溫控速率，可設溫控程序，可記錄溫控曲線 |
電學參數 | |
探針 | 默認為錸鎢材質的彎針探針 *可選其他種類探針 |
探針座 | 可從外部XYZ移動的探針臂 粗調模式+微調模式，微調行程20mm |
點針 | 從外部移動點針，每個探針座都可點到樣品區上任意位置 |
探針接口 | 默認為BNC接頭，可選三同軸接口 |
樣品臺面電位 | 默認為電接地，可選電懸空（作背電極），可選三同軸接口 |
光學參數 | |
適用光路 | 反射光路 |
窗片 | 可拆卸與更替的窗片 |
*小物鏡工作距離 | 25 mm *截面圖中WD |
上蓋窗片觀察 | 窗片范圍φ50mm，大視角±40° *截面圖中θ1 |
負溫下窗片除霜 | 吹氣除霜管路 |
結構參數 | |
適用樣品 | 10 mm ~ 50 mm 直徑 （標準） *可定至300mm的樣品臺面 |
樣品腔高 | 6 mm |
探針座 | 可從外部XYZ移動的探針臂 粗調模式+微調模式，微調行程20mm |
氣氛控制 | 氣密腔，可充入保護氣體*另有真空腔型號 |
外殼冷卻 | 可通循環水，以維持外殼溫度在常溫附近 |
臺體尺寸/重量 | 1060 mm x 600 mm x 213.2 mm / 20kg |
選型表 | |
TP102SV-PS | 溫度范圍 -40℃ ~ 180℃，真空腔 |
HCP422V-PS | 溫度范圍 -190℃ ~ 600℃（負溫需配液氮制冷系統），真空腔 |
HP1000V-PS | 溫度范圍 35℃ ~ 1000℃，真空腔 |
定制型號 | 按客戶需求定制，適用300mm晶圓樣品 |
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