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熱膨脹系數分析儀（TEA ）
獨特優勢
可廣泛應用于輔助各種功能薄膜材料的研究與開發及質量檢驗
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自主知識產權產品，擁有多項技術**
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基于光干涉原理的創新技術
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采用 PID 調節與模糊控制相結合形式控制的紅外加熱方式，大溫區連續、高速溫度跟隨、既定
程序升溫及保持控制
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非接觸式無損檢測，測試精度高
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具備外接抽真空設備、循環水冷設備及載氣或制冷能力
測試原理
基于光干涉原理，測量透明材料及非透明材料的熱膨脹系數。
激光器射出的光線經分光鏡照射到樣品上表面，產生反射光，同時投射光照射到下表面也產生
一束反射光，兩束反射光在光電探測器處發生干涉，反射光功率發生周期性變化，得到光功率隨材料溫度的變化曲線，通過計算得到熱膨脹系數。
技術參數
型號 TEA-300 TEA-1200 TEA-1800
溫度范圍 RT~300 ℃ RT~1200 ℃ RT~1800 ℃
程序升溫重復性偏差 ＜1.0%
程序升溫速率偏差 ＜10.0%
熱膨脹系數測量精密度偏差 ＜4.5%
熱膨脹系數測量正確度偏差 ＜±15%
**工作功率 4.0KW
**升溫速度 3000 ℃/min (50℃~1800℃，真空氛圍)
2700 ℃/min (50℃~1800℃，N 2 氛圍)
溫場一致性 ± 2.0 ℃（1800℃，真空）
± 4.5 ℃（1800℃，N 2 ）
制冷要求 水冷
極限真空 50Pa 10Pa 1Pa
熱膨脹薄膜材料檢測厚度下限 266nm
熱膨脹分析**量值 5.0×10 -10 m
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