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2-歐米伽法納米薄膜熱導(dǎo)測試系統(tǒng) TCN-2ω
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技術(shù)特點：
這種獨特的儀器采用熱反射法測定納米薄膜樣品的交叉平面的熱傳導(dǎo)性；是世界上**的商品化納米薄膜裝置。主要應(yīng)用在半導(dǎo)體器件的熱設(shè)計中，需要測量低k絕緣膜、有機薄膜、半導(dǎo)體薄膜的熱阻。研發(fā)絕緣薄膜和提高熱輻射。
能夠測量形成在基板上的20至1000納米薄膜的法線方向熱導(dǎo)率
使用熱反射方法，通過溫度振幅測量導(dǎo)熱參數(shù)
樣品制備簡單
TCN-2ω | |
溫度范圍 | 室溫 |
樣品尺寸 | 20-1000nm（厚度）（沉積10mm*20mm基板；基板厚度0.5-1mm） |
測量氣氛 | 真空 |
暫無數(shù)據(jù)！
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