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ParkNX12

可提供多功能原子力顯微鏡平臺滿足納米級測量的需求

- 原子力顯微鏡（AFM)有納米級分辨率成像以及電，磁，熱和機器性能測量的能力。

- 納米管掃描系統(tǒng)可用于高分辨率掃描離子電導(dǎo)顯微鏡（SICM)。

- 倒置光學(xué)顯微鏡（IOM）便于透明材料研究和熒光顯微鏡一體化。

通過驗證的NX10性能

通過倒置光學(xué)顯微鏡樣品平臺，Park NX12將Park原子力顯微鏡的多功能性和準(zhǔn)確性相結(jié)合。這使得使用者更容易的使用納米管技術(shù)去研究透明，不透明，或軟或硬的樣品。

電化學(xué)測試的**平臺

電池，燃料電池，傳感器和腐蝕等電化學(xué)研究是個快速增長的領(lǐng)域，然后許多原子力顯微鏡不能直接滿足其特殊的需求。Park NX12的人性化設(shè)計，為快速操作提供便利，從而達(dá)到化學(xué)研究人員要求的功能性和靈活性。這主要包括：

• 多功能易用電化學(xué)池

• 惰性氣體和濕度的環(huán)境控制選項

• 雙恒電位儀的兼容性

研究人員可利用NX12平臺實現(xiàn)各種電化學(xué)應(yīng)用：

• 掃描電化學(xué)顯微鏡(SECM)

• 掃描電化學(xué)池顯微鏡(SECCM)

• 電化學(xué)原子力顯微鏡（EC-AFM）和電化學(xué)掃描隧道顯微鏡( EC-STM)

多用戶設(shè)備

Park NX12完全重新構(gòu)建，以適應(yīng)多用戶設(shè)備需求。其他原子力顯微鏡解決方案缺乏必要的多功能性，難以滿足該設(shè)備中用戶的多重需求，很難合理控制設(shè)備成本。然而，Park NX12旨在能夠容納標(biāo)準(zhǔn)環(huán)境原子力顯微鏡成像，液體掃描探針顯微鏡，光學(xué)和納米光學(xué)成像，使其成為*靈活的原子力顯微鏡之一。

多功能應(yīng)用

Park NX12功能廣泛，包括液體中的PinPoint ™和納米力學(xué)，倒置光學(xué)顯微鏡定位透明樣品，離子電導(dǎo)顯微鏡超軟樣品成像，以及改善透明樣品光學(xué)性能的可視性。

綜合性的力譜方法

Park NX12提供了一種在液態(tài)和空氣中的納米力學(xué)表征的完整解決方案，使其成為廣泛應(yīng)用中的理想選擇。

模塊化

NX12模塊化設(shè)計不僅安裝簡單且兼容性強，可以滿足研究人員的各種實驗需求。

Park NX12可用于任何一個項目

NX系列的眾多掃描模式和模塊化設(shè)計使它可輕松地適應(yīng)任何一個掃描探針顯微鏡的需求。

- 標(biāo)準(zhǔn)成像

• 真正的非接觸模式AFM

• 接觸模式AFM

• 側(cè)向力顯微鏡（LFM)

• 相位成像

• 輕敲式AAFM

-電性能

• 導(dǎo)電AFM

• I-V譜線

• 掃描開爾文探針顯微鏡（SKPM/KPM)

• 高電壓SKPM

• 掃描電容顯微鏡（SCM)

• 掃描電阻顯微鏡（SSRM)

• 掃描隧道顯微鏡 （STM)

• 掃描隧道光譜 （STS)

• 時間分辨的光電流測繪 （Tr-PCM)

- 磁性能

• 磁力顯微鏡 （MFM)

• 可調(diào)外加磁場MFM

-化學(xué)性能

• 掃描電化學(xué)池顯微鏡（SECCM)

• 掃描電化學(xué)顯微鏡 （SECM)

• 電化學(xué)顯微鏡(EC-STM和EC-AFM)

• 功能化探針的化學(xué)力顯微鏡

-熱性能

• 掃描熱感顯微鏡(SThM)

-光學(xué)性能

探針增強拉曼光譜 (TERS)

時間分辨的光電流測繪 （Tr-PCM)

-介電/壓電性能

• 靜電力顯微鏡 （EFM)

• 動態(tài)接觸式靜電力顯微鏡（DC-EFM)

• 壓電力顯微鏡 （PFM)

• 高電壓PFM

-機械性能

• Pinpoint納米力學(xué)映射

• 力調(diào)制顯微鏡 （FMM)

• 納米壓痕

• 納米刻蝕

• 高電壓納米刻蝕

• 納米操縱

• 壓電力顯微鏡 （PFM)

-力測量

• 力－距離（F-D)光譜

• 力－體積成像

• 熱噪聲法標(biāo)定彈性系數(shù)

1. 高樣品 1.5 μm臺階高度

   掃描模式：非接觸模式，Z位置傳感器形貌圖

2. 平樣品藍(lán)寶石晶圓的原子臺階 0.3nm臺階高度，掃描模式：非接觸模式，Z位置傳感器形貌圖

3. 硬樣品鎢膜

掃描模式：非接觸模式，Z位置傳感器形貌圖

4. 軟樣品膠原原纖維

掃描模式：非接觸模式，Z位置傳感器形貌圖

選項

范圍廣泛的環(huán)境控制選項包括了多功能電化學(xué)池，控溫臺和濕度控制的手套箱.

- 電化學(xué)池

• 電化學(xué)池

• 通用液池的電化學(xué)工具包

- 化學(xué)選項

• 恒電位儀

• 雙恒電位儀

- 環(huán)境控制選項

• 手套箱

• 活細(xì)胞箱

- 控溫臺

• 控溫臺(-25 ~180度)

• 250度加熱臺

• 600度加熱臺

- 磁場發(fā)生器

• 平行于樣品表面的外加磁場

• 可調(diào)磁場

• 范圍：~300 gauss

- Z掃描頭

• 15 μm AFM Z 掃描頭

• 30 μm AFM Z 掃描頭

• 15 μm SICM 模塊 Z掃描頭

• 30 μm SICM 模塊 Z掃描頭

- 液態(tài)成像選項

• 液態(tài)探針柄

• 開放式液池

• 通用液池

- 隔音罩

• 獨立型 AE 204

• 獨立型 AE 301

- 夾式芯片載體

• 可用于未裝載懸臂

• 可用于導(dǎo)電式 AFM和EFM的針尖偏壓功能

• 針尖偏壓范圍：-10 V ~ 10 V

- 高級模式的初學(xué)者工具包

• 易使用的高級模式

• 包括特定探針和樣品

Park NX12

技術(shù)參數(shù)：

掃描器

Z掃描器

AFM 掃描頭

柔性引導(dǎo)高推動力掃描器

掃描范圍：15μm(可選 30μm)

SICM 掃描頭

多層壓電疊層驅(qū)動器驅(qū)動的柔性引導(dǎo)結(jié)構(gòu)

掃描范圍：15μm(可選 30μm)

XY 掃描器

閉環(huán)控制的柔性引導(dǎo)XY掃描器

Scan range: 100*100μm

掃描范圍：100μm ×100μm

驅(qū)動臺

XY 驅(qū)動臺行程范圍: 50 mm x 50 mm

Z驅(qū)動臺行程范圍: 25 mm

聚焦驅(qū)動臺行程范圍: 15 mm

影像

樣品表面和懸臂的直觀同軸影像

視野: 840 μm × 630 μm (10倍物鏡)

攝像頭: 5 M Pixel (默認(rèn))， 1M Pixel (可選)

物鏡

10倍 (NA. 0.23) 超長工作距離鏡頭

20倍 (NA. 0.35) 高分辨率，長工作距離鏡頭

電子信號處理

ADC: 18 通道

24-bit ADC 的 X， Y 和 Z 掃描器位置傳感器

DAC: 17 通道

20-bit DAC的 X， Y 和 Z 掃描器定位

集成功能

3通道數(shù)字鎖相放大器

彈性系數(shù)校準(zhǔn)(熱方法)

數(shù)據(jù)Q 控制