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HERA-DLTS

高能分辨率深能級(jí)瞬態(tài)譜（DLTS）

PhysTech在1990年推出了**臺(tái)數(shù)字DLTS，隨著電腦技術(shù)的發(fā)展，使得在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行復(fù)雜計(jì)算成為可能。在純指數(shù)發(fā)射過(guò)程模型的基礎(chǔ)上，用各種數(shù)學(xué)模型分析測(cè)量到的瞬態(tài)過(guò)程，如傅里葉轉(zhuǎn)換、拉普拉斯轉(zhuǎn)換、多指數(shù)瞬態(tài)擬合、ITS（等溫瞬態(tài)光譜）信號(hào)重疊法、溫度掃描信號(hào)重疊法（重折疊）。與其他系統(tǒng)相比，HERA-DLTS具有無(wú)法比擬的能量分辨率。

半導(dǎo)體的摻雜濃度、缺陷能級(jí)位、界面態(tài)(俘獲界面)是研究半導(dǎo)體性質(zhì)的重要手段。此設(shè)備根據(jù)半導(dǎo)體P-N 結(jié)、金－半接觸結(jié)構(gòu)肖特基結(jié)的瞬態(tài)電容（△C～t）技術(shù)和深能級(jí)瞬態(tài)譜（DLTS）的發(fā)射率窗技術(shù)測(cè)量出的深能級(jí)瞬態(tài)譜，是一種具有很高檢測(cè)靈敏度的實(shí)驗(yàn)方法，能檢測(cè)半導(dǎo)體中微量雜質(zhì)、缺陷的深能級(jí)及界面態(tài)。通過(guò)對(duì)樣品的溫度掃描，可以給出表征半導(dǎo)體禁帶范圍內(nèi)的雜質(zhì)、缺陷深能級(jí)及界面態(tài)隨溫度（即能量）分布的DLTS 譜。

特點(diǎn)：

• 自動(dòng)接觸檢查

• 常規(guī)測(cè)試和加強(qiáng)軟件

• 自動(dòng)電容補(bǔ)償

• 三終端FET電流瞬態(tài)測(cè)量

• 大電容和濃度范圍

• 靈活性高、模塊化硬件

• 支持各種冷卻倉(cāng)和溫度控制器

• 傅里葉轉(zhuǎn)換（F-DLTS），比例窗口和用戶(hù)自定義校正功能

• DLTFS（深層瞬態(tài)傅里葉光譜儀）評(píng)價(jià)

操作模式：

• C-DLTS

• CC-DLTS

• I-DLTS

• DD-DLTS

• Zerbst-DLTS

• O-DLTS

• FET-Analysis

• MOS-Analysis

• ITS（等溫瞬態(tài)光譜儀）

• 缺陷分析

• 俘獲截面測(cè)量

• I/V， I/V(T)理查森標(biāo)繪圖

• C/V， C/V(T)

• TSC/TSCAP

• PITS（光子誘導(dǎo)瞬態(tài)譜）

• DLOS(特殊系統(tǒng))

規(guī)格：

Options

• Constant Capacitance

• Optical Excitation

• Fast Pulse Interface

• ±100 V Option

• Multi Sample Interface