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等離子體熱處理爐為德國生產，具有等離子清洗、表面處理、材料表面修飾、材料熱處理的功能。
儀器特點及基本參數：
具有等離子體清洗、表面修飾、表面處理、表面活化的功能；
具有真空能力(10-5mbar)；
芯片倒裝凸點(Bump)；
凸點焊接；
鍵合；
功率器件焊接；
樣品尺寸：170X200mm，或300x300mm；
溫度：650攝氏度；
24支紅外燈加熱；
2路MFC氣路；
暫無數據！
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