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TERA Fab E系列是首臺商業化光束筆光刻(BPL)納米加工系統, 儀器使用多達兩萬支可獨立編程筆陣列, 每支筆尖都有相同尺寸小孔光闌來進行無掩膜光刻; 自定義軟件允許研究人員在0.5x0.4平方厘米區域內快速精確拼接不同圖形, 且特征尺寸分辨率優于200納米; 這個工具可以快速地制作電子和光學器件, 制造光刻掩模, 以及光化學研究, 桌面式操作上手容易, 無需無塵室; 更多應用及產品細節信息TERA中國區官方授權商:溢鑫科創。
典型的應用包括:
*研究單個細胞
*使用DNA、蛋白質、肽或碳水化合物陣列
*微流控或微納電子功能器件的制備
*圖案化水凝膠
*高定域光化學
*合成和發現用于催化、光子學或治療學應用的新納米材料
*其他高密集高分辨的微納米器件制造
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