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氣體

分子式

*小量程范圍

**量程范圍

分辨率

普通氣體

氨氣

NH₃

0~50ppm

0~500ppm

1ppm

0~500ppm

0~2000ppm

1ppm

一氧化碳

CO

0~50ppm

0~500ppm

1ppm

氫氣

H₂

0~500ppm

0~2000ppm

1ppm

0~1%

0~10%

0.01%

氧氣

O₂

0~5%

0~25%

0.1%

一氧化氮

NO

0~50ppm

0~500ppm

1ppm

光氣

COCl₂

0~1ppm

0~5ppm

0.01ppm

0~5ppm

0~100ppm

0.1ppm

酸性氣體

氯化氫

HCl

0~10ppm

0~200ppm

0.1ppm

氰化氫

HCN

0~10ppm

0~200ppm

0.1ppm

氟化氫

HF

0~10ppm

0~200ppm

0.1ppm

硫化氫

H₂S

0~10ppm

0~200ppm

0.1ppm

二氧化氮

NO₂

0~10ppm

0~200ppm

0.1ppm

酸氣

0~10ppm

0~200ppm

0.1ppm

氧化劑氣體

溴氣

Br₂

0~1ppm

0~5ppm

0.01ppm

0~5ppm

0~100ppm

0.1ppm

氯氣

Cl₂

0~1ppm

0~5ppm

0.01ppm

0~5ppm

0~100ppm

0.1ppm

二氧化氯

ClO₂

0~1ppm

0~5ppm

0.01ppm

0~5ppm

0~100ppm

0.1ppm

氟氣

F₂

0~1ppm

0~5ppm

0.01ppm

0~5ppm

0~100ppm

0.1ppm

過氧化氫

H₂O₂

0~10ppm

0~200ppm

0.1ppm

碘氣

I₂

0~1ppm

0~5ppm

0.01ppm

0~5ppm

0~100ppm

0.1ppm

臭氧

O₃

0~1ppm

0~5ppm

0.01ppm

0~5ppm

0~100ppm

0.1ppm

氫化物氣體

氫化砷

AsH₃

0~500ppb

0~2000ppb

1ppb

0~10ppm

0~200ppm

0.1ppm

乙硼烷

B₂H₆

0~500ppb

0~2000ppb

1ppb

0~10ppm

0~200ppm

0.1ppm

鍺烷

GeH₄

0~500ppb

0~2000ppb

1ppb

0~10ppm

0~200ppm

0.1ppm

硒化氫

H₂Se

0~500ppb

0~2000ppb

1ppb

0~10ppm

0~200ppm

0.1ppm

磷化氫

PH₃

0~500ppb

0~2000ppb

1ppb

0~10ppm

0~200ppm

0.1ppm

0~200ppm

0~2000ppm

1ppm

硅烷

SiH₄

0~10ppm

0~200ppm

0.1ppm

碳氫化合物氣體

環氧乙烷

C₂H₄O

0~20ppm

0~200ppm

0.1ppm

甲醛

HCHO

0~20ppm

0~200ppm

0.1ppm

乙醇

C₂H₅O

0~50ppm

0~500ppm

1ppm

0~500ppm

0~2000ppm

1ppm

乙炔

C₂H₂

0~50ppm

0~500ppm

1ppm