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■技術參數
分辨率：20nm(30kv，BSE Image)
- 放大倍率:30x ~ 30，000x
- 加速電壓:5 ~ 30kV (5/10/15/20/30kV - 5 step)
■圖像
背散射電子圖像（BSEI），適用于非導體樣品
■規格
- 樣品移動距離
: X: 20mm， Y: 20mm，
Rotation : 360°
- **樣品尺寸: 直徑50mm
-**樣品厚度: 20mm
■系統結構
- 電子槍: 預對準鎢燈絲
背散射電子圖像
- 真空泵：
旋轉式真空泵100L/min
渦輪分子泵80L/S
抽真空時間2分鐘內
■設備主要構成
- 筆記本電腦1臺
- 電子掃描顯微鏡主體一臺
- 燈絲5個
- 載物臺15mmdia (10pcs/set)
25mmdia (5pcs/set)
15mm45°tilt(5pcs/set)
15mm90°tilt(5pcs/set)
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