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此微納米力學原位測試系統(tǒng)可以對，各種微納米薄膜、涂層材料或塊體材料微納米尺度上進行壓痕、劃痕、摩擦磨損和原位掃描探針成像測試功能，通過軟件直接實現(xiàn)連續(xù)更換不同實驗模式，具有高分辨率，高控制精度，高穩(wěn)定性的特點。設備可直接測試出器件及各種微納米薄膜、涂層材料或塊體材料微納米尺度上在不同溫度下的硬度、表面粗糙度、薄膜厚度、楊氏模量、基底效應、斷裂韌性、附著性能、抗磨損能力、儲能模量、損耗模量及損耗因子等。設備可直接觀測器件及各種納米薄膜涂層材料在微/納米尺度上的失效、斷裂、蠕變、摩擦磨損等各種力學行為的發(fā)生，結合上述工作對材料的制備工藝和服役性能進行評價。應用領域涵蓋了聚合物、復合材料、金屬、陶瓷、MEMS、生物材料等幾乎所有的材料領域。

美國KLA-Tencor公司是全球微納米力學(壓痕)測試設備的開創(chuàng)者，全球**臺納米力學測試系統(tǒng)于上世紀80年代初在此誕生，多種測量方法和物理模型都是來自該公司。經過30多年不斷地努力和改進，目前該公司微納米力學測試不僅實現(xiàn)了靜態(tài)納米壓痕測試，同時實現(xiàn)了高水平的動態(tài)納米壓痕測試和原位納米壓痕測試，當前中華人民共和國納米壓痕測試標準GB/T 22458—2008和GB/T 25898-2010均包括了KLA-Tencor 的連續(xù)剛度測量**技術，在該領域具有很高的權威性，KLA-Tencor在連續(xù)剛度測試（CSM）、高分辨率、掃描成像、快速測試方面擁有獨有技術。KLA-Tencor是該領域知名的跨國公司，中國設立地區(qū)總部， 擁有高水平的專業(yè)技術支持和售后服務人員，國內用戶得到很好的售后服務和技術支持，國內主要高校和中科院下屬多個研究機構以及測試中心均采購該微納米力學測試系統(tǒng)。