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• 二氧化氯檢測儀

日本新宇宙半導體特氣檢漏儀XP-703D/XP-703D半導體特氣檢漏儀/氣檢漏儀XP-703D

XP-703D（自動吸引式）半導體特氣檢漏儀 /

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技術參數：

• 二氧化氯檢測儀

XP-703D半導體特氣檢漏儀技術參數：

型 號

XP-703D

檢測對象氣體

半導體材料氣體（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等）

檢測原理

熱線型半導體式

采樣方式

自動吸引式

可檢測濃度

（單位：ppm）

砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氫氣

AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2

0.2 0.3 0.1 0.5 1.0

檢測表示

蜂鳴器斷續鳴響及指示燈閃爍

應答速度

10秒以內

主要特點：

• 二氧化氯檢測儀

XP-703D半導體特氣檢漏儀產品特點：

1.*適合于檢測半導體特氣的微量泄漏。

2.采用聲光報警。

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