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薄膜測厚儀

儀器簡介：

提供了二維分析、三維分析、表面紋理分析、粗糙度分析、波度分析、PSD分析、體積、角度計算、曲率計算、模擬一維分析、數據輸出、數據自動動態存儲、自定義數據顯示格式等。綜合繪圖軟件可以采集、分析、處理和可視化數據。表面統計的計算包括峰值和谷值分析。基于傅立葉變換的空間過濾工具使得高通、低通、通頻帶和帶阻能濾波器變的容易。多項式配置、數據配置、掃描、屏蔽和插值。交互縮放。X-Y和線段剖面。三維線路、混合和固定繪圖。用于階越高度測量的地區差異繪圖。

膜厚儀主要特點：

◆微觀二維（2D）和三維(3D)形貌輪廓獲取

◆多種測量功能

將采樣數據運算后，可獲得精確定量的面積（空隙率，缺陷密度，磨損輪廓截面積等）、體積（孔深，點蝕，圖案化表面，材料表面磨損體積以及球狀和環狀工件表面磨損體積等）、臺階高度、線與面粗糙度，透明膜厚、薄膜曲率半徑以及其它幾何參數等測量數據。

NanoMap-1000WLI

NanoMap-1000WLI膜厚儀是非接觸式三維高清圖像的光學輪廓儀白光干涉儀器 - 白光干涉帶來了高的分辨率、 400萬像素的圖像、大的掃描范圍，可定制的波長范范圍，使用戶可以輕松靈活的的到任何表面形貌。提供了二維分析、三維分析、表面紋理分析、粗糙度分析、波度分析、PSD分析、體積、角度計算、曲率計算、模擬一維分析、數據輸出、數據自動動態存儲、自定義數據顯示格式等。綜合繪圖軟件可以采集、分析、處理和可視化數據。表面統計的計算包括峰值和谷值分析。基于傅立葉變換的空間過濾工具使得高通、低通、通頻帶和帶阻能濾波器變的容易。多項式配置、數據配置、掃描、屏蔽和插值。交互縮放。X-Y和線段剖面。三維線路、混合和固定繪圖。用于階越高度測量的地區差異繪圖。

測量表面可以覆蓋90%以上材料表面。設備傳感器精度高，穩定性好，材料應用面廣。熱噪聲是同類產品*低的。垂直分辨率可達0.01 nm ( phase-shift mode) 可測跨學科、跨領域的各種樣品表面，包括透明、金屬材料，半透明、高漫反射，低反射率、拋光、粗糙材料(金屬、玻璃、木頭、合成材料、光學材料、塑料、涂層、涂料、漆、紙、皮膚、頭發、牙齒…)；

膜厚儀

參數性能追尋持續改進的目標

AEP的技術致力于日新月異的改善產品性能參數。 欲了解**的配置和性能，請與我們聯系。

搭載多鏡頭 *多可同時搭載6枚物鏡

Z軸聚焦范圍 0.1納米至10mm

手動旋轉平臺范圍 360度

高清圖像

2維、3維的直方圖等視圖

白光干涉可以呈現2維和3維圖像。利用所提供的軟件，通過設置一些選項、可以得到客戶需求的的曲線、標繪、視圖（例如直方圖及雷達圖等）

成像光源

長壽命強光LED，用戶可自選波長范圍

白光干涉儀對其光源承諾****的十年質保。高亮的LED允許成像樣品的反射率范圍從小于0.4%到100%（高亮度的LED使反射率從小于0.4%到100%的樣品均可清晰成像。）白光干涉光源承諾十年質保。

三維形貌儀允許客戶改變可用波長掃描各種樣品。

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