主成分含量(%):
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石英玻璃的形成是由于其熔體高溫黏度很高引起的結果。用于制作半導體、電光源器、半導通信裝置、激光器,光學儀器,實驗室儀器、電學設備、醫療設備和耐高溫耐腐蝕的化學儀器、化工、電子、冶金、建材以及國防等工業,應用十分廣泛。
隨著半導體技術的發展,石英玻璃被廣泛的用于半導體生產的各項工序中。比如,直拉法把多晶轉化成單晶硅;清洗時用的清洗槽;擴散時用的擴散管、刻槽舟;離子注入時用的鐘罩等等。
石英玻璃具有極低的熱膨脹系數,高的耐溫性,極好的化學穩定性,優良的電絕緣性,低而穩定的超聲延遲性能,**的透紫外光譜性能以及透可見光及近紅外光譜性能,并有著高于普通玻璃的機械性能。因此它是近代尖端技術中空間技術、原子能工業、國防裝備、自動化系統,以及半導體、冶金、化工、電光源、通訊、輕工、建材等工業中不可缺少的優良材料之一。
石英玻璃是用天然結晶石英(水晶或純的硅石),或合成硅烷經高溫熔制而成。熔融后的產品具有極好的加工性能,在極高的粘度范圍內,可以將管和棒進行有如普通玻璃細工一樣的熱加工,還可以用金剛石或碳化硅制成的磨具進行高速機械加工,從而制成各種復雜形狀的儀器和特種制品。石英玻璃的性能主要取決于它的純度,其次是工藝過程或熱工制度。微量雜質的存在將給石英玻璃的使用性能帶來重大的影響;同時由于工藝過程或熱工制度的稍有疏忽,將給外觀質量帶來多種多樣的缺陷,產生大量的廢次產品。
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