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■ 設備參數
設備型號 | ALS05 | ALS06 | ALC01 |
設備類型 | 光路可定制 | ||
加工幅面 | 200×200mm—1200×800mm（可訂制） | ||
定位精度 | ±5μm | ±5μm | ±5μm |
重復精度 | ±5μm | ±5μm | ±5μm |
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