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石英坩堝實際上就是一種容器,是由高純石英砂通過模具定型,使用電弧法高溫制作而成。具有耐高溫、使用時間長、高純度等特點,主要使用于半導體與太陽能拉制單晶硅棒的輔助性耗材。 石英坩堝可在1450℃以下使用,分為透明和不透明兩種。*早期的石英坩堝是全部透明的,這種透明的構造容易導致不均勻的熱傳輸條件,增加晶棒生長的困難度,所以這種坩堝被淘汰使用。
目前,半透明石英坩堝是拉制大直徑單晶硅、發(fā)展大規(guī)模集成電路必不可少的基礎材料。當今,世界半導體工業(yè)發(fā)達國家已用此坩堝取代了小的透明石英坩堝。半透明石英坩堝具有高純度、耐溫性強、尺寸大精度高、保溫性好、節(jié)約能源、質量穩(wěn)定等優(yōu)點。
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