出口直徑（mm）：
-進口直徑（mm）：
-泵軸位置：
其他驅動方式：
其他輸送物料：
-連接方式：
其他材質：
其他口徑：
-壓力：
-設計標準：
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設備特點與技術指標
真空獲得為復合分子泵+機械泵，設備真空度在分子泵啟動到400HZ后優于3*10-3pa;30分鐘
以內優于5*10-4pa;極限真空3*10-5pa。
機組為可移位臺式小車結構，能夠滿足不同位置排氣的需要。
機組配備預抽排氣系統，可在分子泵不停止的狀態下實現換工件、預抽真空、抽高真空的排氣流程，縮短了 排氣時間，有效提高了工作效率。
機組配置：
600升(300升)水冷(風冷)復合分子泵1臺。
北儀優成TRP-12機械泵1臺。
40角閥一套。
高真空復合真空計1套。(包括CF35電離規、KF16熱偶規)
直徑150mm*高200mm真空室1套。
帶腳輪、圍板及不銹鋼臺面的小車1套。
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