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氮化硅的分子式為Si3N4，分子量為140.28，按重量百分比，其中硅占60.06%,氮占39.94%。兩種元素電負性相近，屬強共價鍵結合的化合物。顏色為灰色、白色或灰白色，六方晶系、晶體呈六面體，密度3.44，硬度9~9.5，努氏硬度約為2200，顯微硬度為 32630MPa，熔點1900℃。通常在常壓下1900℃分解，不溶于水，溶于氫氟酸。在空氣中開始氧化的溫度 1300~1400℃，彈性模量為28420~46060MPa，耐壓強度為490MPa，1285攝式度時與二氮化二鈣反應生成二氮硅化鈣，600度時使過渡金屬還原，放出氮氧化物，抗彎強度為147MPa。
氮化硅可由硅粉在氮氣中加熱或鹵化硅與氨反應而制得。氮化硅具有硬度高，熔點高，結構穩定，絕緣性能良好、并且耐磨損；除氫氟酸外，它不與其他無機酸反應，抗腐蝕能力強，高溫時抗氧化。
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