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| 六氟乙烷（C2F6） | |
| 化學式 | C2F6 |
| 中文名稱 | 六氟乙烷 |
| 英文名稱 | Hexafluoroethane |
| CAS No. | 76-16-4 |
| 分子量 | 138 |
| 充裝系數 | 1.06kg/L (氣瓶公稱工作壓力12.5MPa時) |
| 應用 | 在等離子工藝中作為二氧化硅和磷硅玻璃的干蝕氣體。可用于金屬硅化物及金屬氧化物并相對其金屬基質的選擇性蝕刻。亦可用于蝕刻硅上的二氧化硅。六氟乙烷可連同三氟甲烷一起用于制冷劑。 |
六氟乙烷（hexafluoroethane），又稱全氟乙烷，是乙烷中六個氫原子全部被氟原子取代后的產物，是鹵代烴，亦是烴類化合物乙烷所對應的全氟化合物，是一種不易燃的氣體，難溶于水，微溶于醇。
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