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用于生長半導體晶體的所有工藝都在高溫、侵蝕性環境下運行,無論是硅的CZ法、藍寶石的HEM法還是碳化硅塊狀生長的PVT法。這就是工業晶體生長爐的熱區通常配備耐熱和耐腐蝕石墨部件的原因。
我們的產品組合包括由高強度同質等靜壓石墨或碳纖維增強碳(CFRC)制成的加熱器、坩堝、反射器和隔熱罩,以及硬氈或軟氈和SIGRAFLEX?箔中的絕緣部件。
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