主成分含量（%）：
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檢測臺玻璃、曝光機玻璃、篩選機玻璃盤等高精度、高平面度、平行度要求的產品加工； 化學減薄（超薄減薄、局部成型減薄）、精細蝕刻； 超深孔、超長孔、微孔、細孔、斜孔、錐孔加工；微米級外形尺寸加工；微流道成型加工；
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