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管式快速退火爐系統 LFT1200C 900D150IIIHSF-3ZLV品牌
康帕因產地
安徽樣本
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該設備為RTP快速升溫爐，加熱元件為紅外燈管，可快速升降溫。內置移動導軌，并有電極帶動再導軌上滑動，三溫區結構設計，配合自動化程序控制，可實現樣品在不動條件下的自動化移動和蒸鍍處理。
技術參數
加熱部分：
爐膛模式：前后移動開啟式爐膛（三個工藝爐膛）
顯示模式：10 英寸觸摸屏
加熱元件：短紅外波燈管，上下水平面獨立加熱
工作溫度：≤750℃
升溫速率：≥15℃/s（空爐）
樣品移動：電機驅動，速度可調
溫區長度：200mm（恒溫區 100*100mm）
溫度均勻性：≤±2℃
工藝位溫降；≤30℃
快速降溫；≥3℃/S（空爐）
爐管規格 ：Φ150*1200 mm
控溫精度：±1℃
密封方式：快速法蘭密封
儀表補償：室溫自動補償
溫度曲線：30 段"時間—溫度曲線"任意可設
測溫元件：K 型鎧裝熱電偶（Omega）
爐膛材料：氧化鋁纖維
外形尺寸 ：1450*700*1000MM長*寬*高
整機功率：單個溫區 12kw，共計 36KW
電源參數：380V 50Hz
樣品移動：伺服電機驅動剛玉推桿帶動基板移動
運行軌道：鉬軌道
推桿速度：可調
導軌水平度：≤1mm/m
推桿定位誤差：≤1mm
防撞措施 ：超力矩推不動，急停按鈕
蒸發距離：樣品下平面和坩堝上平面間距≦2mm,可根據需要調節
速度誤差 ：≤1%
抽真空能力：大氣到≤5Pa 小于 15min（空爐）
氣壓范圍：10 -3Pa～10 5Pa，機械泵極限≤5Pa
泄漏率：≤5 -4（Pa*m 3/s）
真空計范圍：大氣到 10 -5Pa，**分辨率 0.01Pa
氣路系統：按照工藝要求定制
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