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EA-160是一款全自動非接觸式表面測量儀。利用光譜共焦原理，EA-160可用于膜厚線寬測量、微觀尺寸測量、高度差測量、平面度測量、共面度測量、粗糙度測量等，也可對透明半透明材質進行多層尺寸測量。高精度、高速測量，結合強大易用的軟件，EA-160膜厚測試儀被廣泛應用于微電子、半導體、5G、3D玻璃、新型醫(yī)療、精密工業(yè)制造等領域。
應用領域：
HTCC膜厚線寬測量、LTCC膜厚線寬測量、SOFC印刷厚度測試、厚膜電路測量、晶圓涂膠測量、MEMS測量、SENSOR測量、太陽能硅片測量、芯片形貌測量、透明材質測量、環(huán)氧樹脂測量、印刷圖形測量、激光鐳雕測量、Wafer槽深測量、斷差測量、Lens測量、油墨厚度測量、藍寶石厚度測量、曲面鏡片測量
特點：
高速度、高精度自動測量系統(tǒng)
**160mm*160mm 范圍測量
透明材質穿透測量
測量膜厚、線寬、平面度等
多程序自由切換，方便靈活
參數：
| 設備品名 | 全自動非接觸膜厚測試儀 |
| 設備型號 | EA-160 |
| XY測量行程 | 160*160mm |
| Z軸可調行程 | 50mm |
| 掃描*小步距 | 1um |
| **掃描速度 | 30mm/s |
| 陶瓷檢測重復精度 | ±0.5μm |
| Z向分辨率 | 1nm |
| 橫線分辨率 | 0.1um |
| 光柵尺分辨率 | 0.01um |
| 量程 | 1200um |
| 測試方式 | 可編程自動測量 |
| MARK類型 | 圓形、方形、十字、菱形、多邊形、不規(guī)則圖形 |
| 載物平臺 | 微孔陶瓷真空吸附平臺 |
| 膜厚測試 | 支持 |
| 線寬測試 | 支持 |
| 粗糙度測試 | 支持 |
| 透明材料自動測厚 | 支持 |
| 孔深、刻槽深度測試 | 支持 |
| 測量原理 | 光譜共焦 |
| CCD視覺 | 500萬 |
| 紅外激光對準器 | 標配 |
| 數據輸出 | Excel、CSV格式、JPG格式 |
| 數據分析 | CPK |
| 數據統(tǒng)計 | 平均值，**值，*小值，極差，標準差，CP，CPK，良率，總數 |
| 數據接口 | 串口協(xié)議、網口協(xié)議 |
| 接口類型 | RS485、RS232、RJ45 |
| 數據存儲 | 存儲位置任意指定 |
| 數據回測 | 任意節(jié)點數據回測 |
| MES信息化系統(tǒng) | 支持 |
| 設備日志 | 具備 |
| 操作系統(tǒng) | WIN10 |
| 校驗標準塊規(guī) | 標配 |
| 三角塊規(guī) | 標配 |
| 外觀尺寸 | 950*650*500mm |
| 電源 | AC220V±10%,50-60Hz |
| 氣源壓縮空氣 | 0.3~0.7Mpa或真空氣源 |
| 重量 | 250KG |
| 工控主機 | 內存8G、固態(tài)硬盤480G、顯示器23.8“、分辨率1920*1080，高速千兆網口PCI*2 |
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