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臺階儀/膜厚儀ET10000產(chǎn)品參數(shù)
| 重現(xiàn)性 | 1σ 1nm |
|---|---|
| 測定范圍 | Z:100um |
| 分解能 | Z:0.1nm X:0.1um |
| 測定力 | 0.5UN~500UN (0.05mg-50mg) |
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